выхода годных ИС. И все! Мы ни очем другом и не думали.
Что же оказалось на практике?
Положительные сверэффекты:
- ДФШ заменил 10 обычных фотошаблонов.
- Если меть большое желание, можно довести замену до 20.
- Не нужны дорогостоящие заготовки, стоимость которых - 10 рублей
за штуку /для ДФШ - 10 копеек/.
- Экономический эффект только за один год по одной ИС составил
400 тысяч рублей.
- По всем предприятиям это составит десятки миллионов рублей.
Негативные сверэффекты:
- Потребовалось приобретать тонкие покровные стекла
- Организовать участок полировки стекла
- По экономическим показателям цех не заинтересован в выпуске
ДФШ
- Надо сократить численность рабочих
- Надо повысить квалификацию рабочих
- Надо устроить на работу тех, кого сокращают
- и т.д. и т.п.
Можно отметить, что есть два направления исследования
сверхэфектов: это непосредственно возникающие сверхэффекты в ТС,
в технологии, и сверхэффекты, последствия которых возникают при
взаимодействии ТС и технологии с обществом, отдельными его членами,
с окружающей его средой, экологией, экономией и, наконец,
с псилогией людей. Несомненно, что оба эти напрвления взаимодействуют,
переплетаются и нам, по возможности, следует рассматривать их
совместно.
Надо подчеркнуть, что оба направления еще не разработаны.
Они находятся только на том уровне, что они нужны и ими надо
заниматься. Собственно это вопрос прогноза - что нас ожидает,
если мы сделаем то-то и то-то. Тем не менее уже сейчас можно говорить
о том, что решить задачу, найдя идею, следует посмотреть, как
будет работать ТС с теми усовершенствованиями, которые мы введем,
как будут работать смежные элементы, как изменится технология,
надежность, загрязнение окружающей среды, каково качество ТС и
продукции, выпускаемой по новой технологии.
Надо посмотреть, какие СЭ, положительные и отрицательные
возникнут у себя, у группы лиц, в коллективе, в обществе,
в организации, в заработной плате, взаимоотношении, лидерстве.
Конечно, это не все, но даже этого на первый случай достаточно,
чтобы чуть-чуть увидеть дальше, чем сейчас /14/.
АРХИЕРЕТИЧЕСКАЯ МЫСЛЬ.
Мысль, которую мы хотим сейчас высказать, на первый взгляд является
еретической и противоречит всей ТРИЗ. Но это только на
первый взгляд.
В действительности нам представляется, что мы должны
обьединить две альтернативные системы - АРИЗ и МПиО.
"Это-кощунство," - могут сказать и скажут многие. Но что же
делать, если мы с вами в основном мыслим не линейно, а
все же более разбросано, по кругу. В начале мы говорили, что мыслим как
бы по кругу. На самом деле, конечно, это происходит значительно
сложнее. Мы думаем не только по кругу, но и линейно, перескакиваем с одного
на другое, держим в голове сразу несколько мыслей, подвержены
влиянию окружающего нас мира - мгновенно реагируем на то, что
видели или слышали, ощущали, - все это сразу приводит наши мысли на
другой уровень, переход, скачок от одних мыслей к другим и т.д.
В чем же состоит альянс, союз 2-х, обьединение АРИЗ и МПиО?
А вот в чем. Мы начинаем решать задачу используя АРИЗ,
но все время расширяем круг рассмотрения, возвращаемся к началу.
Используем все элементы АРИЗ, но не идем по линии, а все время
ищем решение, и это значительно расширяет наше представление о
задаче.
Мы отвлекаемся на приемы РТВ, оценку полученных решений
с точки зрения сверхэффектов. Таким образом перед нами
разворачивается панорама решений, их много, мы чувствуем себя не
как пригвожденные к тачке, которую надо тянуть, а как
художник рисующий обьемную картину со всеми нюансами
окружающего мира. Вся палитра красок - вся ТРИЗ - задействована.
"Каждый шаг - это нота ! Для того, чтобы сочинить произведение,
найти решение, следует пользоваться всеми нотами, а не
последовательно гаммой, нужно применять аккорды...
В такой последовательности человек начинает ощущать творчество,
видеть много решений, не цепляться за одно, как бь чрезвычайно
верное и непогрешимое, а видеть весь спектр решений со всеми
переходами от одного цвета к другому.
Приведу один пример, хотя ими можно иллюстрировать дорогу
изобретателей.
Я нашел решение для ДФШ. Я был уверен, что единственно
верное решение и больше эту задачу не решал. 3 года пытались мое решение
осуществить, проводя НИР, ОКР, но ...
В конце концов, исполнители поставили вопрос перед руководством,
что такой ДФШ для серийного производства сделать невозможно.
Именно тогда, получив удар "ниже пояса", я, придя домой, нашел
новое решение в течении 30 минут. 3 года и 30 минут!
И вот это решение и было реализоано.
А теперь поставим вопрос - можно ли было сразу найти решение?
Можно и нельзя. Если знать все НЭ, трудность изготовления, а это,
в общем, мы знали, но очарованные простотой /на первый взгляд/
полученного решения, находясь под гипнозом собственного
решения, идеи, мы даже и не помышляли о тех нежелательных
сверхэффектах, которые нас огорошили.
А если бы мы сразу нашли весь пакет решений, если бы мы
выбрали несколько из них - несомненно, весь цикл разработки и освоения
этих ДФШ был бы более короткий. /3/.
ФОТОШАБЛОН ДУБЛИРОВАННЫЙ
Отделом фотошаблонов разработана конструкция фотошаблонов
повышенной износостойкости. Достоинством конструкции
является малая вероятность повреждения фотошаблонов в процессе
эксплуатации и, как следствие этого, сохранение высокого
качества фотолитографии при контактной печати.
Опыт использования таких фотошаблонов в цехе
для межслойной изоляции ИС подтвердил повышение их срока службы
в 6-8 раз с одновременным повышением выхода годных ИС.
Конструкция фотошаблона представлена на рисунке-5.
Фотошаблон содержит два топологических слоя, разделенным
защитным стеклом, толщиной около 100мкм. При повреждении
поверхностного слоя внутренний слой продолжает осуществлять
функцию маскирования, и дефект на пластину не передается.
Налчие двух маскирующих слоев гарантирует отсутствие
дефектов малых размеров /менее 1,0мкм/, не обнаруживаемых
при контроле фотошаблонов.
Из технологических соображений окна во внутреннем слое
выполнены с увеличением размера на 25-30мкм, что накладывает
ограничение на номенклатуру фотошаблонов, выполняемых в
дублированной конструкции. Наиболее эффективно
использование конструкции для темнопольных фотошаблонов
с большим отношением площади темного поля к площади светлого
/межслойная изоляция, контактные окна, защитные слои и т.п./
Цехом ведется освоение производства дублированных
фотошаблонов.
Рис.5
-----
10-18 мкм
---------
стекло
------
хром
----
защитное стекло
---------------
дефект
------
пластина с
фоторезистором
--------------
выступ
------
Хотелось бы обратить внимание на один важный факт. Нас
иногда наши противники упрекают, что мы с помощью ТРИЗ не
сделали крупных, больших изобретений. Где эта мера? Что есть
большое? Что такое крупное изобретение, а что - мелкое?
Где эта граница?
Если смотреть с точки зрения экономики, то разница есть.
Громадное количество решенных задач дает милионный экономический
эффект. Тем не менее, новые машины, станки, приборы, как
правило, тризовцы не создают. Почему? Это связано со
многими причинами, но не с тем, что нельзя это сделать,
получить решение. Примеры автора ТРИЗ показывают, что
новый ледокол никто даже не хотел обсуждать. А новый метод
изготовления стекла?! Ведь даже не поняли, о чем идет речь!
Тем не менее, предлагается в каждой задаче находить идею
решения на новом принципе,- физическом, химическом,
геометрическом или биологическом.
Если есть возможность, то следует эти идеи столбить -
подавать заявки и рекламировать идеи. Это позволит
показать всю мощность ТРИЗ и ее пользователей.
Пример. Решая задачу по ДФШ, мы вышли на идею
проекционной фотолитографии, но о ней никто и слушать не хотел.
Для того, чтобы понять новое, нужно быть к этому новому,
его восприятию готовым. А это не просто.
И последний штрих. Учение - всегда преодаление себя,
насилие над собой. Можно говорить, не всегда, не со всеми.
Но в большинстве случаев это так. Как сделать так, чтобы
большая часть времени обучения ТРИЗ и последующего ее
применения составляло все же не насилие над собой, а
доставляло желание и радость? Мне кажется, что для этого следует
вызывать у слушателей положительные эмоции, интерес,
соревновательность, поощрение, игру, то есть добиваться в процессе
обучения более естественного решения хода задач, присущего
человеческому мышлению, но в рамках стратегии ТРИЗ.
Можно использовать чувства о которых мы говорили. Это
интерес, желание доказать окружающим свое "я", боязнь,
злость, доверие, оказание помощи ближнему, показать фокус,
сомнение... Все эти чувства, одни сильнее, другие - слабее,
позволяют человеку заставить самого себя решать задачи.
рассмотрим первый пример, как решить задачу с помощью
кругового АРИЗ.
1 2 3 4 5 6 7 8
! ! ! ! ! ! ! !
! ! ! ! ! ! ! !
Сделать рисунок ------------------------ --- 9
и выразить задачу ! задача в ве- ! --- 10
в вепольной форме ! польной форме ! --- 11
!______________________! --- 12
! ! ! ! ! ! ! !
! ! ! ! ! ! ! !
20 19 18 17 16 15 14 13
1. Определить конфликтную пару.
2. Определить ИКР(1), ИКР(2).
3. Определить НЭ и его природу. Сущность процесса, какими
свойствами обладают В1 и В2, взаимодействие.
4. Если есть решение - проверить сверхэффекты.
5. Использовать приемы и найти решение.
6. Использовать оператор РВС.
7. Нарисовать карикатуру.
8. Сформулировать ТП.
9. Оценить сверхэффекты.
10. Сформулировать ТП1 и ТП2.
11. Определить предельные ТП. Возможно ли найти решение
на новом принципе?
12. Какие взаимодействия еще есть ТС?
13. Рассмотреть + и - в альтернативных ТС.
14. Сформулировать ФП1 И ФП2.
15. Использовать стандарты на инструмент, изделие.
16. Решения оценить на сверхэффекты.
17. Метод Колумба или иной другой.
18. Рассмотреть законы.
19. Рассмотреть физические эффекты.
20. Рассмотреть линию развития ТС.
21. Решения оценить на сверхэффекты.
Рассмотрим задачу о тарелках, используемых в качестве
мишений для стрельбы.
Нежелательный эффект. Тарелка или ее части лежат на земле
и ее загрязняют.
КП - тарелка-земля В2-В3
ИКР - тарелка сама исчезает на земле
ИКР - земля сама способствует исчезновению тарелки
ИКР - окружающие тарелку поля - Птепл., Пвл. - сами заставляют
тарелку исчезнуть
- Тарелка не взаимодействует ни с чем, продолжая лежать годы,
т.к. она изготовлена из материала достаточно плотного,
твердого и надежного.
- Какими свойствами может обладать тарелка, кроме как
мишень?
- польза: удобрение для земли; семена трав; нейтральное
вещество; вещество, которое само распадается без вреда для пользы
Из этого перечня появляется мысль о самораспадающейся
тарелке.
- Сформулируем ТП и рассмотрим приемы
ТП-устойчивость состава обьекта - потери времени.
Прием 35 - изменить агрегатное состояние вещества.
Что это?
Все ИКР, свойства и ТП, направляют нашу мысль на изменение
